激光晶体抛光粉
激光晶体,可将外界提供的能量通过光学谐振腔转化为在空间和时间上相干的具有高度平行性和单色性激光的晶体材料。是晶体激光器的工作物质。
1. 材料选择:稀土氧化铈的“精准进化”
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纯度≥99.99%:严格控制Fe、Cu等金属杂质(<1ppm),避免晶体污染;
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粒径定制化:50~200nm超细颗粒,搭配窄粒度分布(D90/D50<1.5),确保均匀切削;
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形貌优化:采用水热法合成的球形/类球形颗粒,减少划痕风险。
2. 化学-机械协同抛光(CMP)
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活性表面修饰:Ce³⁺/Ce⁴⁺动态氧化还原反应,软化晶体表面化学键;
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pH精准调控:酸性环境(pH 4~5)加速反应,实现“软磨硬”高效抛光;
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纳米级“零损伤”:机械去除与化学腐蚀同步,表面粗糙度可达Ra 0.1nm(经AFM检测)。