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超低缺陷纳米二氧化铈抛光液

独特的纳米二氧化铈磨料粒径小，表面反应性强，在保持高去除率的同时实现了超低缺陷。纳米二氧化铈磨料是通过液相合成制备的。
ꄴ前一个： 无
ꄲ后一个： 超低缺陷纳米二氧化铈浆料

颜色：白色

D50：90nm

固含量： 10%， 20%

产品优势：

非常小的磨料，最大限度地减少划痕和缺陷。
优化的磨料尺寸和表面性能使我们的浆料适用于STI工艺。