超低缺陷纳米二氧化铈浆料
我们独特的纳米二氧化铈磨料粒径小，表面反应性强，在保持高去除率的同时实现了超低缺陷。纳米二氧化铈磨料是通过液相合成制备的。
颜色：白色
D50：90nm
固含量： 10%， 20%
产品优势：
非常小的磨料，最大限度地减少划痕和缺陷。
优化的磨料尺寸和表面性能使我们的浆料适用于STI工艺。
颜色：白色
D50：90nm
固含量： 10%， 20%
产品优势：
非常小的磨料，最大限度地减少划痕和缺陷。
优化的磨料尺寸和表面性能使我们的浆料适用于STI工艺。
